Halbleiter

Präzisionsmessinstrumente, Granitgestelle und Keramikkomponenten: die Grundlage für Exzellenz in der Halbleiterindustrie

In der Halbleiterindustrie sind ein äußerst hohes Maß an Genauigkeit und Präzision unverzichtbare Voraussetzungen für alle Prozesse, von der Lithografie bis zur Abscheidung, vom Ätzen bis zum Packaging.
Um hohe Qualitätsstandards zu erreichen und aufrechtzuerhalten, werden hochpräzise Mess- und Positionierinstrumente mit Granitgestellen und Keramikkomponenten integriert, um Genauigkeit, Präzision und Stabilität sowie ein ausgezeichnetes Maß an Schwingungsdämpfung zu gewährleisten. Insbesondere Keramikkomponenten eignen sich für die Anforderungen an extreme Reinheit, die notwendig ist, um eine Kontamination der Produkte und Reinräume zu vermeiden.

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Halbleiter

Qualitätskontrolle und Stabilität in mikroelektronischen Prozessen

Zweifellos ist der Markt, der in den letzten Jahren die größte Expansion erfahren hat, der Halbleitermarkt. Dank Prozessinnovation, der Aktualisierung der Maschinen auf höchste Qualitätsstandards und des unternehmenseigenen Know-hows beliefert die Microplan®-Gruppe bedeutende Unternehmen im Halbleitersektor: Neben Strukturen, Gestellen kleiner, mittlerer und großer Abmessungen sowie Keramikkomponenten mit Präzisionsmikrobearbeitungen bietet Microplan dem Kunden einen kompletten Service für die Präzisionsmontage von Linearführungen, Linearmotoren, Maßstäben, mechanischen Komponenten usw.

Einige Anwendungsbeispiele für den Halbleitersektor sind nachfolgend aufgeführt:

Keramikkomponenten für die Handhabung von Siliziumwafern, Endeffektoren und Chucks aus Aluminiumoxid und SiC
XY-Stages aus Naturgranit und Keramik für verschiedene Produktionsprozesse von Siliziumwafern
Strukturen aus Naturgranit für optische Lithografiemaschinen