Der Markt, der in den letzten Jahren am stärksten gewachsen ist, ist zweifellos der Halbleitermarkt. Dank der Prozessinnovation, Modernisierung des Maschinenparks auf höchstem Produktionsstandard und Firmen-Know-how beliefert die Microplan-Gruppe wichtige Unternehmen der Halbleiterbranche: neben Strukturen, kleinen, mittleren und großen Basen und keramischen Bauteilen mit präziser Mikrobearbeitung, bietet Microplan dem Kunden einen kompletten Service von Präzisionsmontage von Linearführungen, Linearmotoren, Messskalen, mechanischen Komponenten, etc…
Nachfolgend sind einige Anwendungsbeispiele für die Halbleiterindustrie aufgeführt:
- Keramikkomponenten für die Handhabung von Siliziumwafern (End Effectors und Chucks aus Alumina und SiC)
- XY-Tischen aus natürlichem Granit und Keramik für verschiedene Prozesse zur Herstellung von Siliziumwafern
- Strukturen aus natürlischem Granit für optische Lithographiemaschinen
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