Semi-conducteur

Instruments de mesure de précision, bases en granit et composants en céramique : la base de l’excellence dans l’industrie des semi-conducteurs

Dans le monde de l’industrie des semi-conducteurs, le très haut niveau d’exactitude et de précision constitue une condition indispensable pour tous les processus, de la lithographie au dépôt, de la gravure au packaging.
Pour atteindre et maintenir des standards qualitatifs élevés, des instruments de mesure et de positionnement de très haute précision sont intégrés avec des bases en granit et des composants en céramique afin de garantir l’exactitude, la précision et la stabilité, ainsi qu’un excellent niveau d’amortissement des vibrations. En particulier, les composants en céramique sont adaptés aux exigences d’extrême pureté nécessaires pour éviter la contamination des produits et des salles blanches

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Secteurs Industriels

Semi-conducteur

Contrôle qualité et stabilité dans les processus microélectroniques

Le marché qui a sans aucun doute connu la plus forte expansion ces dernières années est celui des semi-conducteurs. Grâce à l’innovation des processus, à la mise à niveau des machines selon les standards qualitatifs les plus élevés et au savoir-faire de l’entreprise, le Groupe Microplan® fournit d’importants acteurs du secteur des semi-conducteurs : outre les structures, les bases de petites, moyennes et grandes dimensions et les composants en céramique avec micro usinages de précision, Microplan offre au Client un service complet d’assemblage de précision de guides linéaires, moteurs linéaires, règles de mesure, composants mécaniques, etc.

Quelques exemples d’application pour le secteur des semi-conducteurs sont énumérés ci-dessous :

composants en céramique pour la manipulation des wafers de silicium, end effectors et chucks en alumine et SiC
stages XY en granit naturel et en céramique pour différents processus de production des wafers de silicium
structures en granit naturel pour machines de lithographie optique