Semiconduttori

Strumenti di misura di precisione, basamenti in granito e componenti in ceramica: la base per l’eccellenza nell’industria dei semiconduttori

Nel mondo dell’industria dei semiconduttori, l’altissimo livello di accuratezza e precisione sono condizioni imprescindibili per tutti i processi, dalla litografia alla deposizione, dall’incisione al packaging.
Per raggiungere e mantenere gli alti standard qualitativi, strumenti di misura e posizionamento di altissima precisione vengono integrati con basamenti in granito e componenti in ceramica al fine di garantire l’accuratezza, la precisione e la stabilità oltre ad un ottimo livello di assorbimento di vibrazioni. In particolare i componenti in ceramica sono adatti alle richieste di estrema purezza necessaria ad evitare la contaminazione dei prodotti e delle Clean room.

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Controllo qualità e stabilità nei processi microelettronici

Senza dubbio il mercato che ha conosciuto negli ultimi anni la più grande espansione è quello dei semiconduttori. Grazie all’innovazione di processo, all’aggiornamento dei macchinari ai più alti standard qualitativi e al know-how aziendale, il Gruppo Microplan® fornisce importanti realtà del settore dei semi-conduttori: oltre alle strutture, ai basamenti di piccole, medie e grandi dimensioni e ai componenti di ceramica con microlavorazioni di precisione, Microplan offre al Cliente un servizio completo di assemblaggio di precisione di guide lineari, motori lineari, scale di misura, componenti meccanici, ecc…

Alcuni esempi di applicazione per il settore dei semiconduttori sono elencati di seguito:

componenti in ceramica per la manipolazione dei wafer di silicio (end effectors e chuks in allumina e SiC)
stage xy in granito naturale e ceramica per differenti processi di produzione dei wafer di silicio
strutture in granito naturale per macchine di litografia ottica